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芯片清洗用高浓度臭氧水技术

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登记号：G20230009

所属行业：水利、环境和公共设施管理业

学科分类：化学;

关键词： 芯片清洗 高浓度臭氧水

绿色分类：环境质量;

  • 基本信息
成果名称： 芯片清洗用高浓度臭氧水技术
成果登记号： G20230009 学科分类： 化学;
绿色分类： 环境质量; 项目关键词： 芯片清洗  高浓度臭氧水      
推荐单位：

中国科学院上海硅酸盐研究所

 成果所处阶段： 中期阶段
合作方式： 其他 成果所属行业： 水利、环境和公共设施管理业
国家/地区： 中国 知识产权： 其他
简介： 点击查看

1.应用领域

适用于 电子芯片、硅片清洗。还可用于水产保鲜、冷链病毒杀灭、医疗器械消毒、替代农药、去除饲料中黄曲霉毒素、公共卫生消毒、污泥处理，土壤修复、水净化、垃圾站除臭、大水体消减底泥等领域；

2.技术特点

国际上制取高浓度臭氧水（≥70ppm）须采用臭氧气体浓度300mg/L以上的臭氧发生器。本项目技术实现了用普通便宜的一般浓度臭氧气体发生器来获得高浓度臭氧水。

3.性能指标

用自来水及普通浓度臭氧发生器，制备的臭氧水浓度达到70mg/L以上，已实现120mg/L以上的浓度。浓度满足芯片清洗等高端应用。未来采用超纯水可获得更高浓度的臭氧水。

4.当前状态

开发成功样机。
姓名： 左秀婷 性别：
出生日期： 职务：
国籍(地区)： 中国 联系地址： 上海市徐汇区中山西路1525号
电子邮件： zuoxt@sstec.org.cn
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