《半导体工业用气体及电子屏蔽材料检测技术标准研究和制定》项目为我院承担的上海市科学技术委员会科研项目，项目编号：08DZ0501800。该项目由《电磁屏蔽材料标准体系研究》和《半导体工业用气体中有害杂质检测技术标准的研究和制定》两个子课题打包而成。 电磁屏蔽材料应用于工业制造、环境保护、人体防护、电磁兼容等多种领域，属于新型绿色电工基础材料，《电磁屏蔽材料标准体系研究》子课题研发了一套平面型电磁屏蔽材料屏蔽效能检测装置，建立了完整的《电磁屏蔽材料体系框架》，起草了《平面型电磁屏蔽材料屏蔽效能检测方法》国家标准，用于测量平面型电磁屏蔽材料的屏蔽效能。所建立的《电磁屏蔽材料标准体系框架》通过上海市科学情报研究所查新，认为"在国内检索范围内，未见有同类的标准和文献报道，因此，项目具有新颖性"；所研发了一套平面型电磁屏蔽材料屏蔽效能检测装置解决的技术关键如下： a. 消除测量夹具与样本之间的接触阻抗问题； b. 解决测试装置中出现的高阶模问题； c. 理论分析，建立等效电路系统，与测量结果进行比对。 技术指标如下： a.频率范围30MHz~3GHz b.电压驻波比<1.2 c.特性阻抗为 d.传输损耗<1dB e.测量动态范围>100dB； 《半导体工业用气体中有害杂质检测技术标准的研究和制定》子课题研究符合半导体工业检测需求的气体中颗粒含量的检测方法、气体中痕量水分的检测方法、气体中油分含量的检测方法，并在此基础上起草并制订了《气体中颗粒含量的测定 光散射法 第1部分：管道气体中颗粒含量的测定》、《体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法》、《电子工业用大宗气体中油含量的测定 红外光谱法》3份国家标准，建立了半导体工业用气体中有害杂质的检测标准体系。 综上所述，本项目研制了一套电磁屏蔽材料屏蔽效能检测装置，建立了《电磁屏蔽材料体系框架》，起草了4份国家标准，申请实用新型专利1项，体系框架以及国家标准在我国均属首次制定，具有较强的创新性及应用价值。 电磁屏蔽材料标准体系框架的建立，有利于国内（尤其是上海及长三角周边地区）电磁屏蔽材料技术的提高，尤其是电磁屏蔽效能检测技术和方法的提高，有助于研发企业提高生产技术水平，生产出符合国家标准（鼓励严于国家标准）的产品，进一步规范电磁屏蔽材料产品市场，更好地为消费者服务，推动相关行业领域整体水平的提高。 气体中有害杂质检测技术标准的出台，可以改变目前半导体及电子电气行业对气体质量的监控、评价缺乏准确、统一方法的现状。