本项目属计量科学技术领域。 随着国内微纳米产业迅猛发展，半导体产业中引进了许多先进的纳米加工测量设备。先进的微纳米计量技术代表着国家在精密加工、精确定位和半导体制造等行业的优势地位，也就是在产业发展乃至国防发展上的优势地位。研究并建立我国纳米几何量量值溯源体系，并开展纳米标准样板表征和测量研究是促进纳米技术健康、有序发展，推动纳米制造和精密加工等产业的进步的重要前提。 本项目的主要研究内容为：(1)以测量范围25mm*25mm*5mm的计量型纳米测量机为平台，匹配原子力显微镜、聚焦式显微镜开展各种尺寸纳米台阶、线间隔、线宽标准样板的测量评价， 测量不确定度小于2nm；(2)运用白光/相移扫描干涉术，实现快速、大范围、非接触的场扫描的纳米级测量与溯源性研究；(3)研制并建立适用于跨尺度、复杂化的微纳米尺寸标准样板及结构的测量与表征方法；(4)在纳米测量机上进行二维定位误差自校准实验研究，研究不同姿态的测量组合对测量结果的实际影响程度，进一步实现标定结果的自动生成并进行不确定度评价。 其中突出的创新工作体现在：(1)通过软件方法补偿激光聚焦式纳米尺寸测量方法,结合纳米测量机可溯源测量平台,采用灰度分析方法实现平面纳米尺寸的测量；(2)以纳米测量机为定位移动平台，开发了双角度倾斜扫描干涉术的测量系统，垂直分辨力达0.1nm，实现了快速、无损、非接触、大范围的高精度测量；(3)本项目提出了基于线性方程组的二维工作台定位误差自校准算法，该方法的测量模型简洁有效，测量误差传播率小于1，可扩展至四位姿或五位姿测量组合的计算。 通过国家一级检索证明：建立的纳米装置的功能性和各项技术指标达到国际先进水平(科技查新报告：20101381SH)，基于纳米测量机开发的自校准方法在国内外具有新颖性(科技查新报告：20141731)。基于项目建立的"纳米标准装置与标定方法"在国家纳米科学中心、南京理工大学微纳米结构的测量中得到了应用；并在天津大学、中国304所开展的相关测试实验中展示了纳米标准装置高精度的微纳米测量性能。过程及后续推广应用中共申请专利7项，已获授权4项，授权通知3项；申报并获批中国人民共和国国家版权局-计算机软件著作权1项；公开发表论文15篇，12篇被SCI/EI检索；起草国家标准"扫描探针显微镜漂移速率的定义及测量方法(GB/T 29190-2012 )"1项，该国家标准荣获2014年中国分析测试协会科学技术奖(CAIA二等奖)。 本项目的研究成果达到国际先进水平，项目完成后，连续四年实现新增产值362万元，节约资金507万，新增税收18.1万元。上海市计量测试技术研究院作为我国微纳米测试与计量领域领先的研究和服务关键机构，计量校准及环境等各项水平能充分满足半导体领域的严格要求。本项目的完成，使本院在微纳米制造和测量仪器的贸易争端中的仲裁作用得到了提升，突破了以往相关的技术壁垒，更好地保证了贸易的公平性，提高了在微纳计量领域的国际、国内话语权。