本项目研究属计量科学技术领域。 纳米薄膜由于兼具传统复合材料和现代纳米材料两者优势，在微机电、光电器件、太阳能电池、传感器等领域具有广泛的应用。在过去的10年中，纳米薄膜器件正以超越摩尔定律的速度高速发展，精加工技术已可轻松制造以前难以想象的微小和形状复杂的器件，但同时也给纳米计量表征带来了更大的挑战。相对于材料研发的日新月异，当前国内针对纳米薄膜等测量方法和相关标准物质的研究国内比较滞后，还不能满足计量检测的需求，因此纳米量值标准与溯源是我国纳米新材料技术发展亟待解决的问题。标准方法和标准物质体系是计量检测技术水平的最高表现形式，是发展纳米功能材料的前提，也是引导促进先进加工和测量技术发展的技术基础。本项目就是针对这一国内现状，有目的地开展了纳米薄膜及颗粒测量标准方法以及相关标准物质的研制应用工作。通过项目研究，共建立了3项纳米薄膜和粒度分析用国家标准，获批了纳米膜厚和比表面积2类9种国家级标准物质，并获得了良好的应用，分别填补了国内相关微纳米薄膜及颗粒分析用标准方法和标准物质体系空白。项目整体研究达到国际先进水平。 本项目原创性地研制了纳米五氧化二钽膜厚和比表面积2类标准物质，并完全拥有自主知识产权，已被国家质检总局批准为国家二级标准物质[标准物质编号为GBW（E）130419-130422和GBW（E）130275-130279]。无论从量值覆盖范围、经济性还是从定值不确定度方面均优于国外同类产品（IRMM的BCR-261T和NIST的SRM1900、1899、1897）。并经中科院上海科技查新咨询中心查新检索表明本项目研制技术，未见相同文献、专利报道，具有新颖性、创新性，分别填补了我国相关领域标准物质的空白，达到国际同类研究先进水平。同时本项目还起草并获批了3项国家标准（GB/T 26645.1-2011《粒度分析 液体重力沉降法 第一部分：通则》、GB/T29025-2012《粒度分析 电阻法》和GB/T28632-2012《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定》），3项测量标准方法的建立并配合相关标准物质协同使用，规范了纳米新材料计量表征方法，完善了我国纳米新材料测量方法体系，为纳米薄膜及颗粒测量数据的可重复性与实验室间测量结果的可比性提供技术保障。该项目研究成果已获授权发明专利3项，在国内外学术期刊上发表论文7 篇，并培育形成了一支由中青年科研骨干组成的微纳米新材料计量表征研究团队。 目前本项目研制的纳米薄膜和比表面积标准物质广泛应用于计量检测机构和材料研发生产企业等，包括北京市理化分析测试中心、深圳市材料表面分析检测中心、中科院上海硅酸盐所及其他第三方检测实验室、科研机构和产品研发生产企业等，一致认为该系列标准物质量值准确可靠，稳定性好，使用方便，确保了纳米薄膜厚度等分析结果的准确性，实现了量值溯源，完全可以替代国外同类标准物质。近年来，该2类标准物质在华东乃至全国都得到了很好的应用，为近500家机构提供标物供应。另外本项目制定的国家标准被作为统一的方法被广大检测机构和薄膜、颗粒研发企业使用，所产生的社会效益也是无法估量的。