项目简介 随着工业化进程的加速推进,人类社会各方面的发展对化石燃料的消耗与日 俱增,而由此产生的大气环境污染问题也愈发严重,对人类的生存和健康、自然 生态环境造成极大的损害。基于固体电解质的气体传感器,结合先进的 MEMS 和 镀膜技术,对于 CO2、SO2等污染性气体浓度的实时监测、防治十分重要。 项目以 Li3PO4、Li3PO4-Li2SiO3薄膜固体电解质薄膜作为导电介质,研制 CO2、 SO2等环境监测气体传感器。通过固体电解质薄膜的 CO2、SO2气体传感器的响应 原理分析,设计了集成式环境监测气体传感器,选择了合适的反应电极材料,结 合 MEMS 薄厚膜工艺,采用热阻蒸发镀膜工艺沉积 Li3PO4固体电解质薄膜,丝网 印刷厚膜技术制备反应电极和加热电极,完成了集成式微型 CO2、SO2气体传感器 的研制、封装、测试,为工业应用奠定了基础。微型气体传感器可实现 CO2和 SO2 气体的高精度监测,并具有体积小、功耗低、成本低的特点。 市场前景及应用 在诸多大气污染物中,CO2与 SO2是引起气候变化和雾霾的主要污染源,其主 要产生于各种金属的冶炼、石油化工产品的加工、工业及民用燃料的燃烧、各类 机动车尾气的排放,对环境造成了严重的危害。由于此类污染性气体的危害迫在 眉睫,因而对 CO2、SO2气体的实时、快速、有效检测,以及根据检测结果采取相 应防治控制措施非常有必要。由此可见,随着我国对环境保护治理的重视,将对 高性能低成本的气体传感器具有紧迫而巨大的需求。