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热电元件电阻及界面接触电阴率测量系统

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登记号：G20230017

所属行业：科学研究和技术服务业

学科分类：仪器仪表技术;

关键词： 测量系统 热电元件 接触电阻 接触电阻率

绿色分类：其它;

  • 基本信息
成果名称： 热电元件电阻及界面接触电阴率测量系统
成果登记号： G20230017 学科分类： 仪器仪表技术;
绿色分类： 其它; 项目关键词： 测量系统  热电元件  接触电阻  接触电阻率  
推荐单位：

中国科学院上海硅酸盐研究所

 成果所处阶段： 中期阶段
合作方式： 其他 成果所属行业： 科学研究和技术服务业
国家/地区： 中国 知识产权： 其他
简介： 点击查看

1.应用领域

在电子元器件特别是半导体元器件的制造中，各种材料间的接触电阻率的大小直接影响着元器件的性能，反映器件制造的工艺水平。接触电阻及接触电阻率的测量是各种电子元器件特别是半导体元器件制造及性能表征过程中的一个重要指标，准确、方便、快速测量出接触电阻率是十分必要的。例如，本系统用于定量表征热电器件的热电材料与电极、及多段热电元件中两种热电材料之间界面接触电阻率，是目前高性能热电器件研制的重要技术手段。

2.技术特点

（1）采用机器视觉和运动控制实现测试探针在待测样品表面精确定位与电阻测量，定位准，精度高，可重复性好，操作简单，不刮伤样品，样品尺寸范围宽；

（2）采用工业相机代替人眼工作，可有效避免测试人员眼睛疲劳，提高测试效率。

3.性能指标

（1）尺寸范围为2×2×2mm～10×10×20mm。

（2）测试精度为±0.5μΩ.cm2。

4.当前状态

（1）目前实验室搭建了两台相关测试设备，测试样品超过500批次，系统运行可靠。

（2）编写了企业标准，尚未发布。
姓名： 左秀婷 性别：
出生日期： 职务：
国籍(地区)： 中国 联系地址： 上海市徐汇区中山西路1525号
电子邮件： zuoxt@sstec.org.cn
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