本项目系极大规模集成电路测试技术工艺领域的重要核心技术和工艺之一。 本项目开始于2009年，为推动我国集成电路制造产业的发展，提升我国集成电路制造成套工艺技术的自主创新能力，根据"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"国家科技重大专项指南，上海市组织了以上海华岭集成电路技术股份有限公司，立项开展拥有我国自主知识产权的极大规模集成电路大生产测试技术开发及产业化应用研究，建立极大规模集成电路生产测试线，为我国自主设计的相关产品提供测试技术服务。 创新点： 六大突破性技术革新：1、适应于90nm-65nm-45nm工艺芯片的时间空间隔离抗干扰产业化测试技术；2、存储器测试算法图形的多重叠加技术；3、采用结构测试技术实现"瞬时"故障捕获；4、异步事件并行处理测试技术；5、开闭环嵌套测试压缩技术；6、 软硬件定焦测试精度补偿控制技术。 其中关键技术创新：1、可测性设计测试验证分析与评估技术；2、65nm器件新型测试结构；3、微弱信号、强噪声信号测试技术；4、在保证测试故障覆盖率的前提下，测试算法和测试生成优化技术；5、故障覆盖"树型"分布式处理技术；6、覆盖覆盖率度量梯度测试设计技术；7、测试误差补偿技术；8、高速、高精度、高密度测试接口设计。 本项目技术成熟，建立的极大规模集成电路先进生产测试线，可以完成12英寸、8英寸、90nm-65nm-45nm 集成电路的测试技术开发，芯片测试验证分析和产业化生产测试，年产能7万片（其中12英寸1万片/年）。课题建立的测试设计、芯片验证分析、大生产测试统一的开发和生产体系，加入了国家集成电路公共服务平台和集成电路产业链合作封测联盟，以网络化的用户测试工厂，知识产权共享，价值服务，用户增值技术服务模式，实现极大规模集成电路大生产测试研究技术成果的产业化应用，为国内自主设计的近100项集成电路产品提供了测试技术服务。 本项目为国家01、02、03科技重大专项至少20多家单位40多个课题（或产品）提供了测试技术服务，同时为国内100多家单位自主设计的100多个集成电路产品提供了测试技术服务，凭借本项目的开发使得公司技术服务产值增加27488多万元，上缴国家税收1940万元，净利润6638万元，实现了较好的社会效益和经济效益。