您好，欢迎来到绿色技术银行！
  • 成果
  • 需求
  • 专家
登录 注册
成果库
低温等离子体辅助制备纳电子器件单元机理的研究

0

登记号：G20174588

所属行业：科学研究和技术服务业

学科分类：化学;

关键词： 纳电子器件单元 等离子体辅助制备 化学气相沉积技术

绿色分类：其它;

  • 基本信息
成果名称： 低温等离子体辅助制备纳电子器件单元机理的研究
成果登记号： G20174588 学科分类： 化学;
绿色分类： 其它; 项目关键词： 纳电子器件单元  等离子体辅助制备  化学气相沉积技术    
推荐单位：

成果所处阶段：
合作方式： 成果所属行业： 科学研究和技术服务业
国家/地区： 北京 知识产权： 其他
简介： 点击查看
摘要：纳电子器件单元是由导体、半导体、绝缘体的纳米点、线、膜在纳米尺度下组装而成的。该项目利用射频或电子回旋共振等离子体辅助化学气相沉积技术，制备不同结构和性质的金属纳米点、半导体纳米线和绝缘纳米薄膜；以创新性的、有良好空间分辨的等离子体鞘层中活性粒子浓度和分布的诊断方法为基础，研究鞘层中中性和带电活性粒子对所沉积的纳电子材料的形貌、结构和性质的作用机理；研究各种等离子体参数、基片条件和其他化学因素对活性粒子产生和分布的影响机制；在上述研究基础上，探索纳电子材料和结构在等离子体环境下生长的有效控制方法和器件单元合成的可能性。该学科交叉课题的研究将为以材料和结构为基础的纳电子器件合成的研究打下基础，也将对等离子体物理和纳米材料合成领域的理论研究和应用起一定的推动作用。
姓名： 蒲以康 性别：
出生日期： 职务：
国籍(地区)： 联系地址： 北京市海淀区清华园
电子邮件：
相似的成果
匹配的需求
相关专家
绿色科技信息网
关于我们

简介

组织架构

大事件

联系方式

021-24197746    021-24197802

021-24197801    021-80197528

地址：上海市徐汇区中山西路1525号

上海市虹口区东大名路1098号浦江国际金融广场5楼

主办单位

绿色技术银行管理中心(上海科学技术交流中心)

绿技行（上海）科技发展有限公司

关注我们

版权所有：上海科学技术交流中心| 绿色技术银行 沪ICP备05032341号-4 |  沪公网安备31010402003525号