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高分辨电子背散射衍射仪

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登记号：G20230014

所属行业：科学研究和技术服务业

学科分类：仪器仪表技术;

关键词： 高精度 大范围 高分辨 电子背散射衍射仪

绿色分类：其它;

  • 基本信息
成果名称： 高分辨电子背散射衍射仪
成果登记号： G20230014 学科分类： 仪器仪表技术;
绿色分类： 其它; 项目关键词： 高精度  大范围  高分辨  电子背散射衍射仪  
推荐单位：

中国科学院上海硅酸盐研究所

 成果所处阶段： 中期阶段
合作方式： 其他 成果所属行业： 科学研究和技术服务业
国家/地区： 中国 知识产权： 其他
简介： 点击查看

1.应用领域

电子背散射衍射仪（EBSD）是一种能在较大范围内（微米尺度）、高精度地（纳米尺度）实现微区晶体学显微结构分析的新型显微分析设备，可应用于几乎所有的多晶和单晶材料，获得晶粒尺寸分布、相组成、取向以及织构等的统计信息。

2.技术特点

采用新型稀土掺杂荧光材料与高灵敏CMOS相机相结合的高效磷屏探测器设计方案，从源头上提高采集衍射花样的信噪比；采用衍射花样图像小波降噪、图像旋转、灰度梯度提取与霍夫变换相结合的方法，提高菊池带识别标定精度，从而显著提高其空间分辨率和角度分辨率。

3.性能指标

高分辨电子背散射衍射仪EBSD：空间分辨率≤70nm、角度分辨率≤0.07°、可测量最小应变≤ 0.1%、实现相鉴定、取向分布统计分析功能。

4.当前状态

目前项目组完成高分辨率电子背散射衍射仪样机一台；具备批量生产的能力。
姓名： 左秀婷 性别：
出生日期： 职务：
国籍(地区)： 中国 联系地址： 上海市徐汇区中山西路1525号
电子邮件： zuoxt@sstec.org.cn
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