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压电泵驱动器MEMS阀的力学性能研究

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登记号：G20175728

所属行业：制造业

学科分类：产品应用相关工程与技术;

关键词： 力学性能 可变形飞行器 压电泵驱动器

绿色分类：其它;

  • 基本信息
成果名称： 压电泵驱动器MEMS阀的力学性能研究
成果登记号： G20175728 学科分类： 产品应用相关工程与技术;
绿色分类： 其它; 项目关键词： 力学性能  可变形飞行器  压电泵驱动器    
推荐单位：

成果所处阶段：
合作方式： 成果所属行业： 制造业
国家/地区： 黑龙江 知识产权： 其他
简介： 点击查看
该项目为所承担的项目“用于可变形飞行器的压电泵驱动器的研究”(项目批准号：90916011)的延续资助项目，提出利用压电叠堆作为驱动元件，通过MEMS阀实现液体的单向流动的压电泵驱动器，在前期研究基础上，进一步研究了MEMS阀的力学性能。完成了MEMS阀在流体中悬臂梁微阀的动态分析、阀片开启压力分析、MEMS单向阀单元的仿真分析，设计并加工了基于SU8光刻胶的MEMS阀和基于电铸镍的MEMS阀，并对MEMS阀的过流特性进行了实验测试，为MEMS阀的使用提供基础。
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国籍(地区)： 联系地址： 黑龙江省哈尔滨市西大直街92号
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