ICP加工模拟工具软件DROPIE成果简介：该课题初步建立了ICP工艺中刻蚀和淀积过程的基本物理模型，设计了具有针对性的实验来提取物理模型所需要的参数；对以上独立的物理模型进行组合，建立了ICP工艺中刻蚀和钝化交替过程的基本物理模型，实现了对ICP过程的物理解释和数学描述。在物理模型向计算机数据模型转换的过程中，针对ICP工艺模拟过程的独特性，结合传统的线模型和单元模型，开发了二维的线单元混合图形表示方法，并对三维模拟的算法进行了初步的探索和尝试。该课题编制完成了DROPIE-2D模拟软件并取得了软件著作权，正在与INTELLISENSE公司合作开发其商业化版本，预计明年初将同INTELLISENSE8.0一起发布。2004年10月该课题的承担单位已经同MEMS行业知名模拟软件公司Intellisense签订了针对该课题研究成果进行商业化合作的合同，双方正在进行该模拟软件的商业化合作开发并已基本上完成商业化版本的技术开发工作，在INTELLISENSE8.0一起对外发布，向全世界用户推出第一个商业化的ICP模拟工具软件，实现中国MEMSCAD研究成果的产品化和商业化。作为软件，总是处于不断升级与完善。该软件成果也一样，在现在的版本中，对于ICP工艺考虑了Lag效应，但对于Footing效应的考虑还需要进一步完善，同时，还需要进一步提高模拟效率，需要不断地完善与改进算法。该软件模块已作为INTELLISENSE8.0的一个组成部分销售了两套。在可以预见的几年内，必将得到更多的应用。由于研究与开发工作课题组在项目完成后一直在继续，在不断地提高水平与完善功能，所需的人、财、物资源量有保证，设计软件环境的开发工作正在进行中，总体基础已完全具备。关键是要推广该软件的应用。软件成果转化的关键问题在两点：成果的实用化研究；成果的商业化操作。对于该成果，要实现成果的产业化必须解决的实用化问题包括模型的稳定性问题、计算精度与效率的矛盾问题，这部分工作正在进行。第二个面临的问题是商业化开发，这个工作需要商业化运作的公司支持，作为软件要想实现产业化存在一定的困难，虽然投资较小，但软件的推广所面临的非技术问题较多。