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溅射镀膜设备的应用

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登记号：G20177472

所属行业：信息传输、软件和信息技术服务业

学科分类：信息科学与系统科学;

关键词： *高端装备制造

绿色分类：其他资源效率提升;

  • 基本信息
成果名称： 溅射镀膜设备的应用
成果登记号： G20177472 学科分类： 信息科学与系统科学;
绿色分类： 其他资源效率提升; 项目关键词： *高端装备制造        
推荐单位：

上海超导科技股份有限公司

 成果所处阶段： 中期阶段
合作方式： 产品推广 成果所属行业： 信息传输、软件和信息技术服务业
国家/地区： 上海 知识产权： 其他
简介： 点击查看

*技术/项目介绍（背景、现状、特点等）：溅射镀膜设备具有独到的靶磁路设计和布气设计，靶材利用率高、溅射效率快、膜层均匀性好；基片温度范围可调、温区均匀性好。  

*主要技术指标：基片可实现自转以及行星公转； 软硬件系统稳定可靠，人机交互界面友好，容错性能强，自动化水平高； 溅射源、真空腔体大小、真空泵组均可根据用户工艺需求定制。多达6路的进气控制系统，满足各离子源的用气需求； 可优化溅射源、辅助源及靶的空间定位和装卡设计；反射式高能电子衍射仪（RHEED）系统协同设计，可实现在线薄膜质量分析；离子源、真空腔体大小、真空泵组等均可根据用户工艺需求定制。  

*目前应用情况：真空镀膜设备、第二代高温超导带材、基于该类带材的超导应用，是行业内极少有的同时能在产业链上、中、下游提供优质产品的公司，其产品应用在信息、超导、计算机、电学、电子、机械等领域。  

*“民参军”或“军转民”的应用前景 ：产品在部队装备配套设施上使用比较广泛，欢迎军工单位合作开发应用。  


姓名： 洪智勇 性别：
出生日期： 职务：
国籍(地区)： 上海 联系地址： 虹口区四川北路1717号
电子邮件： hr@shsctec.com
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