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新型深紫外倍频晶体CLBO及实用化技术研究

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登记号：G20173518

所属行业：科学研究和技术服务业

学科分类：产品应用相关工程与技术;

关键词： 晶体生长 非线性光学晶体 深紫外倍频晶体 晶体抛光 激光器

绿色分类：其他资源效率提升;

  • 基本信息
成果名称： 新型深紫外倍频晶体CLBO及实用化技术研究
成果登记号： G20173518 学科分类： 产品应用相关工程与技术;
绿色分类： 其他资源效率提升; 项目关键词： 晶体生长  非线性光学晶体  深紫外倍频晶体  晶体抛光  激光器
推荐单位：

成果所处阶段：
合作方式： 成果所属行业： 科学研究和技术服务业
国家/地区： 北京 知识产权： 其他
简介： 点击查看
该课题针对新型非线性光学晶体CLBO实用化存在的问题，开展了晶体生长、器件加工、使用寿命和应用研究，圆满完成或超额完成合同书的各项任务。主要成果有：(1)解决了晶体生长中管状缺陷问题，能稳定生长大尺寸、高光学质量的CLBO晶体。其中一块尺寸达146mm×132mm×118mm，是公开报道中质量最好、尺寸最大的CLBO单晶。(2)解决了CLBO晶体抛光中水浸蚀和抛光剂残留等难题，加工的CLBO倍频器抗266nm激光损伤阈值大于4.7GW/cm<'2>，尺寸达80×60×10mm<'3>，远远超过任务合同书规定的验收指标。在瑞士进口的GE-100-XHP激光器系统上进行CLBO四倍频实验，产生1200mW的266nm激光，大大超过该激光器原配四倍频器BBO晶体的额定最大功率180mW，超额完成合同书200mw的验收指标。探明CLBO晶体的开裂机理，找到克服晶体开裂，延长使用寿命的简单易行的方法：将CLBO倍频器放置在小恒温套管内，保持温度130℃，隔绝水汽进行倍频实验，其使用寿命已超过两年。与中科院物理所光物理实验室合作，用CLBO倍频器研制成266nm输出1.3W的激光器实用样机，现正在深圳有关企业进行集成电路清洗的工业应用实验。
姓名： 王晓青 性别：
出生日期： 职务：
国籍(地区)： 联系地址： 北京市海淀区清华园
电子邮件： xqwang@tsinghua.edu.cn
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