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光学非球面磁流变纳米级超精密加工工艺和装备的研究

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登记号：G20173805

所属行业：制造业

学科分类：机械工程;

关键词： 非球面光学镜 超精密加工 磁流变抛光 数控抛光机床

绿色分类：其它;

  • 基本信息
成果名称： 光学非球面磁流变纳米级超精密加工工艺和装备的研究
成果登记号： G20173805 学科分类： 机械工程;
绿色分类： 其它; 项目关键词： 非球面光学镜  超精密加工  磁流变抛光  数控抛光机床  
推荐单位：

成果所处阶段：
合作方式： 成果所属行业： 制造业
国家/地区： 北京 知识产权： 其他
简介： 点击查看
非球面光学镜的超精密加工是一个难题，计算机控制磁流变抛光非球面和自由曲面镜是有良好应用前景的工艺方法。利用尺寸为微米级的磁性微粒分散于载液中形成的悬浮液，混合抛光磨料，在磁场作用下形成高粘弹性的抛光垫，可以与被加工的光学非球面镜的曲面表面相互吻合运动进行抛光。研制了永磁和电磁结构的磁性轮形成运动磁场，采用自转和公转相结合的球形组合抛光工具形成复杂运动形式，在数控抛光机床上进行光学非球面的磁流变超精密数控抛光。通过形面误差测量确定非球面镜的面形误差分布，建立抛光修正误差的压力或驻留时间的卷积分计算模型，按照这个模型的数学关系根据误差分布通过迭代计算，得到抛光压力分布函数或驻留时间函数，进而确定抛光工具的数控走行轨迹和速度，对加工表面作确定性去除，消除面形误差。这个工艺流程多次反复进行，直至面形误差达到允许的范围。工艺技术已基本完备，实验取得良好效果。
姓名： 冯之敬 性别：
出生日期： 职务：
国籍(地区)： 联系地址： 北京市海淀区清华园
电子邮件： fengzj@pim.tsinghua.edu.cn
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